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          VENA-1000

          VENA-1000

          詳細介紹

          VENA系列自動匹配器用于真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積,化學氣象沉積,磁控濺射,以及太陽能制造設備PECVD等設備當中,主要功能是實現全自動匹配,解決了現在國內真空鍍膜設備中的一個技術空缺;具有自動,快速,可靠,高效,準確,節省人力和時間等特點??蛇x的射頻系統檢測模塊可實時檢測出系統的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等,從而使您能夠發現并顯著降低制程變化性。

          優勢

          ●性能安全可靠,長時間工作穩定
          ●實時反射功率測量與控制
          ●優化設計、安裝、使用與維修十分簡便
          ●傳輸效率高,運行噪音小
          ●屏蔽效果好
          ●可外接匹配控制盒,與其他射頻功率發生器配合使用

          特點

          ●加強了鍍膜與刻蝕工藝的控制
          ●優化的匹配算法加速匹配時間
          ●最大限度地減少駐波比與反射功率
          ●嚴格的可靠性測試

          使用參數:

          匹配功率范圍

          0-1000W

          工作頻率:

          13.56MHZ

          正常工作反射功率

          <3W

          匹配時間

          <3S

          傳輸效率

          >90%

          匹配器電源

          AC220V/50-60HZ

          輸入連接器

          N型

          輸出連接器

          UHF

          控制模式

          手動/自動

          可設預置點數

          7

          匹配阻抗范圍

          實部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據負載調節阻抗)

          匹配器尺寸

          450X294X151MM

          整機重量

          9.5KG

          冷卻方式

          強制風冷

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